ソリューション事例：表面改質技術で付加できる機能耐プラズマエロージョン性

半導体製造装置部品の表面にセラミック皮膜を形成することで、プラズマエロージョン耐性が飛躍的に向上し、装置内の浮遊粉塵の発生量を抑制することができます。