保有技術|溶射技術一覧大気プラズマ溶射(APS:Atmospheric Plasma Spraying)
大気プラズマ溶射(APS:Atmospheric Plasma Spraying)とは
プラズマとは、気体が高温となって、ガス分子が原子に分離しさらに電子と陽イオンに分解(電離)した状態の集団気体のことをいいます。
プラズマ状になったガスを収束した高温高速のガス噴流がプラズマジェットです。エネルギー密度の極めて高い、10,000度Cを超える高温のプラズマジェットを利用し、金属・合金から高融点材料の代表とされる各種セラミックス、セラミックスと金属あるいは合金とを組み合わせたサーメットの粉末材料を溶融して加工対象に噴射する溶射法がプラズマ溶射法です。
普通の大気中で行うプラズマ溶射法を、特に減圧プラズマ溶射法と区別する意味で、大気圧プラズマ溶射法(APS)と呼びます。非常に多彩なセラミックス材料の特性と使用環境を考慮し、適切な材料選択、皮膜仕様の設計と厳しい施工管理で生み出された APS溶射皮膜はさまざまなところで活躍しています。単にプラズマ溶射法と呼ぶ場合はこのAPS溶射法のことを指します。
特徴
- 溶射材料の選択自由度が大きい
- 高融点の材料(セラミックス)の施工に最適
適用例
- ベアリング
- ドライエッチング装置部品(半導体製造装置)
- 高炉羽口
- タービンブレード
ドライエッチング装置部品(半導体製造装置)
機能:耐プラズマエロージョン
ベアリング
機能:電気絶縁、耐食(電蝕)