ソリューション事例:表面改質技術で付加できる機能電気特性
金属または導電性材料の上に独自の緻密な施工技術によるセラミック膜を形成することで、環境に左右されにくい絶縁性能を実現します。
また、高誘電体を被覆することで、従来にない省エネ放電が可能となります。
適用例
ベアリング
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ドライエッチング装置部品(半導体製造装置)
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放電電極
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金属または導電性材料の上に独自の緻密な施工技術によるセラミック膜を形成することで、環境に左右されにくい絶縁性能を実現します。
また、高誘電体を被覆することで、従来にない省エネ放電が可能となります。
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